振動水沖法是1937年由德國凱勒公司設計制造出的具有現代振沖器雛形的機具，哈爾濱鋼板樁用來擠密砂石地基獲得成功。20世紀60年代初，振沖法開始用來加固粘性土地基，由于用料是碎石，故稱為碎石樁。

我國應用振沖法始于1977年，20多年來，我國在壩基、道路、橋梁、工業與民用建筑地基處理中，振沖法均已得到了廣泛的應用。但因振沖碎石樁有泥水污染環境，在城市和已有建筑物地段的應用受到限制，且有軟化土的作用。于是從20世紀80年代開始，各種不同的施工工藝相應產生，如錘擊法、振擠法、干振法、沉管法、振動氣沖法、袋裝碎石法、強夯碎石樁置換法等。

雖然這些方法的施工不同于振動水沖法，但是，都可以形成密實的碎石樁，所以碎石樁的內涵擴大了。從制樁工藝和樁體材料方面也進行了改進，如在碎石樁中添加適量的水泥和粉煤灰，哈爾濱鋼板樁稱為水泥粉煤灰碎石樁，即CFG樁。各種干法碎石樁施工技術蓬勃發展，與濕法碎石樁并存，是碎石樁技術發展的特色之一。